研究者LinköpingUniversity、スウェーデン、新しい分子、188bet 誕生日ボーナストリアゼニドを開発しました。これは、高頻度の電子機器で使用するための高品質の188bet 誕生日ボーナスインディウム188bet 誕生日ボーナスインディウムを作成するために使用できます。
現在ワイヤレスデータ転送に使用している帯域幅は、まもなく満員になります。増え続ける量のデータを送信し続ける場合、さらに周波数を使用することで利用可能な帯域幅を増やす必要があります。電磁放射特定の周波数では、新しい帯域幅は非常に高い周波数でのみ調査できます。このような高周波数の電磁信号を作成するには、これらの周波数で電子が動き出すことができるトランジスタが必要です。
「電子は窒化インジウムを非常に簡単に通過できるため、非常に高速で188bet 誕生日ボーナスを介して電子を前後に送信し、非常に高い周波数の信号を作成することができます。これは、窒化インジウムを高頻度の電子機器で使用できることを意味します。たとえば、ワイヤレスデータ転送の新しい周波数を提供できます」物理学、化学、生物学科LinköpingUniversity。彼は、最近188bet 誕生日ボーナスの化学に掲載された窒化インジウムの非常に薄い層の製造に関する最近の研究を主導しました。
窒化188bet 誕生日ボーナス - CVDおよびALD
窒化188bet 誕生日ボーナスは、等量の窒素と金属188bet 誕生日ボーナスで構成される化合物です。これは半導体であるため、すべての電子デバイスが基づいている小さな電気スイッチであるトランジスタを作成するために使用できます。化学蒸気堆積、またはCVD。188bet 誕生日ボーナスに必要な原子を含む前駆体分子の蒸気は、互いに反応し、188bet 誕生日ボーナスを堆積する表面と反応します。金属窒化物半導体のCVDは、通常、化学反応を活性化し、高品質の188bet 誕生日ボーナスを堆積するために800〜1,000°Cの温度を必要とします。
CVDの堆積化学には、気相と表面成分があります。窒素のCVDで使用される高温の起源は、窒素の前駆体分子として使用されるアンモニア分子の遅い気相分解化学です。太陽電池内の規則的なナノシスマホ オンラインおよび低温で安定化すると、プロセス全体の温度が低下する可能性があります。したがって、彼らは窒化188bet 誕生日ボーナスの時間分解CVDプロセスの実験を開始しました。
研究者は、最終的に「原子層堆積」、またはALDとして知られる最もよく知られている時間分解形式のCVDの使用を開始しました。 ALDは、すべての最新の電子機器の製造に不可欠な手法であり、前駆体分子の連続的な供給に依存しています。つまり、188bet 誕生日ボーナスと窒素の前駆体分子はここで互いに反応できないことを意味します(気相で出会わないので)。
188bet 誕生日ボーナストリアゼニド
研究者は、従来の188bet 誕生日ボーナス前駆体の188bet 誕生日ボーナス炭素結合が弱い188bet 誕生日ボーナス陽性結合に置き換えられる188bet 誕生日ボーナスの代替前駆体分子の調査を開始しました。そのような3つの分子は、科学文献で報告されており、すべて1つの188bet 誕生日ボーナス原子に結合する6つの窒素原子によって形成された188bet 誕生日ボーナスニトロゲン結合を備えています。
この結果から、科学者は188bet 誕生日ボーナスの新しい前駆体分子を開発しました。そこでは、窒素原子間の原子橋が第三窒素原子に置き換えられます。この種の分子は、3つの窒素原子が連続して「トリアゼニド」と呼ばれます。
電子機器で使用される188bet 誕生日ボーナスは、通常、電子188bet 誕生日ボーナスの結晶構造を制御する表面で薄膜を成長させることによって生成される必要があります。このプロセスは、エピタキシャル成長として知られています。
“私たちが開発したALDプロセスと組み合わせて発明したインジウムトリアゼニド分子は、電子機器で窒化インジウムを使用することを真剣に考え始めることができます。私たちは、真の電子188bet 誕生日ボーナスとして説明されるのが十分に純粋であることを保証する方法で窒化インジウムを生産することが可能であることを示しました」とペダーセンは言いました。
研究者たちは、別の驚くべき事実を発見しました。これは、前駆体分子が気相のいかなる方法でも反応または分解されることを許可されてはならないことをALDを使用する人々の間で一般的に受け入れられています。しかし、研究者がALDプロセスの温度を上げたとき、彼らはプロセスが安定した1つだけでなく2つの温度間隔があることを発見しました。
Pedersenは次のように述べています。「188bet 誕生日ボーナストリアゼニドは、気相で188bet 誕生日ボーナストリアゼニドがより小さな188bet 誕生日ボーナスアルキルアミンに分解し、これによりこの分子が小さく、表面のより小さな領域を占めるためALDプロセスが改善されたと考えています。188bet 誕生日ボーナスアルキルアミンは、加熱時に重合するため、直接使用できないため、ALDプロセスに必要な蒸気を形成するために加熱することはできません。
研究者は、密接に関連する半導体188bet 誕生日ボーナス窒化ガリウムに取り組んできました。これは、ガリウムトリアゼニドの前駆体と窒化ガリウムの対応するALDプロセスを開発するためのすべての青色光発光ダイオードの基礎です。継続的な研究では、ALD反応器におけるTriazeinde分子の推奨される分解メカニズムの実験的証拠の収集に焦点を当てます。
この研究は、カナダのオタワにあるウプサラのスウェーデン農業科学大学およびカールトン大学の研究者とともに実施されました。スウェーデン戦略研究財団(SSF)とKnut and Alice Wallenberg Foundationから財政的支援を受けています。
原子層堆積(ALD)
窒化188bet 誕生日ボーナスの薄膜は、indiumをチャンバーに含む前駆体分子の蒸気を導入し、薄膜が形成される表面と反応することにより、真空チャンバーで生成されます。これに続いて、窒素を含むガスの導入が続き、表面と反応して窒化188bet 誕生日ボーナスの単層を形成します。
参照
- innフィルムの原子層堆積を制御するグアニジン酸塩およびアミジン酸前駆体の内環状炭素置換基、ポララ・ルーフ、ネイサン・J・オブライエン、カール・ローンビー、ルーゼ・サミ、イヴァンG. Chemistry C、2019年9月26日に公開されたDOI:10.1021/ACS.JPCC.9B07005。
- '原子層堆積によるインジウム窒化インジウムのエピタキシャル成長のためのインジウム(III)トリアゼニドの前駆体'、ネイサンJ.オブライエン、ポララルフ、ルーベサミー、カール・ルンニー、シドニーC. Wei Hsu、Ivan G. Ivanov、Vadim Kessler、LarsOjamäe、Henrik Pedersen、188bet 誕生日ボーナスの化学、4月24日、doi:10.1021/acs.chemmater.9b05171にオープンアクセス記事として公開されました。https://dx.doi.org/10.1021/acs.chemmater.9b05171
ヘンリックペダーセン
教授
物理学、化学、生物学部(IFM)
LinköpingUniversity
+46 13 281385
henrik.pedersen@liu.se
ツイート@hacp81
https://liu.se/en/research/pedersen-group
注意してください、この記事は私たちの第3版にも掲載されます新しい四半期出版.